一、设备简介
PTLQ系列气体制冷机用于气体的降温与冷却，也可选择进行升温与恒温控制气体通常为干燥的压缩空气或氮气、氩气等惰性气体。进气温度可以是常温的，也可以是高温的，经过气体制冷机降至目标低温。针对于晶圆测试载冷台的应用来说，气体制冷机相比较于传统的液冷有诸多优势,如使用方便、安全卫生、成本低、无异味等。
典型应用领域:
晶圆测试载冷台提供低温气体
芯片低温测试
激光设备局部区域降温
液晶触摸屏低温冷冻脱胶
材料性能测试
热沉实验温度控制
结晶系统控温
二、 产品特点
1、-135°C~+225°C,可以满足不同温度的需求,可非标定制;
2、可选配精确控温形式，控温精度最高可达±0.1C;
3、采用高效换热器,降温速度快,常温至-80℃最快只需5分钟;
4、可选配冷量回收装置,提升能效,避免低温冷凝水;
5、允许非标控制程序定制;
6、可选配进气流量自动控制与检测;
7、运行状态实时显示，故障信息自动诊断，多项报警保护功能;
8、自适应PID控制算法,无需改变参数，即可实现温度控制;
9、完善的安全保护措施,设置有多种安全保护机制以确保系统的安全运行;
10、质量保障。
