设备主体：VHP传递窗采用不锈钢主体结构，内腔采用316L不锈钢，框架和外表面采用304不锈钢结构，内腔采用圆弧角满焊设计，采用Ra≤0.6μm抛光度。
VHP发生单位：内置闪蒸原理干法VHP发生器，采用集成控制方式，与VHP传递窗采用 统一控制方式，VHP 发生浓度，腔体温湿度和饱和度控制更稳定。
气动密封系统：压缩空气动力系统包含充气密封和气动阀门的控制。充气密封和气动阀控制采用一路压缩空气管路，包含减压阀和电磁阀控制。另一路压缩空气。
控制系统：标准的控制系统采用PLC和HMI控制方式，采用标准的模块化控制板，稳定可靠，控制系统设计经过充分的验证和实践应 用，稳定可靠。
净化过滤系统：腔体送风和排风均采用H14 高效过滤器过滤，工艺管路和腔体均采用净化设计，配合高效过滤系统，可在腔体实现A级净化，设备预留专用检测口，可对净化条件实现在线测试验证。
电器系统：电器柜的设计符合安全和防护法规要求，电器线路布局有序合理，强电和弱电标 示明显，符合CE和EN标准。
EHS要求：人员安全防护和产品安全防护均在设计上做了充分考虑，采用强电安全保护，保证操作人员接触不到强电，两侧均有急停按钮设计；高温部件采取明确高温标示；腔体采用电磁互锁装置，避免产品和洁净室的污染；异常状态声光报警信号提示，避免安全事件发生。
